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大理石气浮隔振平台及三维调整台
所属分类:
工厂自动化
产品详情
产品功能:发动机总成生产过程中的各类零件的轮廓度、圆度和粗糙度等测量的执行系统,他能有效的保证测量的精度和运行的稳定性。
产品特点:四个独立的重载隔振垫脚和四组气浮组件联合组成振幅小于0.001mm的隔振测量平台,再结合重载型气浮三维调整台可以灵活轻便的将被测零件送达测量区域,并且还能进行精度达0.01mm三维方向的微调。
设计要点:平面度< 0.01mm/m2表面粗糙度< 0.8μm
固有频率x方向1.0Hz~1.5Hz y方向1.0Hz~1.5Hz
减振效率x方向<5Hz时88%~94% y方向<5Hz时86%~92% x方向<10Hz时92%~98% y方向 <10Hz时90%~95% 振幅< 1μm荷载能力800kg/m2。
关键词:
稳定
高精度
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